PI-thick (NS) Ave PI-thick (NS) RMS Cr-thick (xtal) Cr-thick (XRF) Au-thick (xtal) Au-thick (XRF) ARC-thick (Dek) IL-thick (xtal) IL-thick (ellips) IL-index (ellips) Res-thick (Dek) Res-LW IL-LW ARC-LW Top ARC-LW Middle ARC-LW Bottom Undercut Plated Au thick grating (SEM) Plated Au thick grating raw (XRF) Fill Factor (calc) Fill Factor (used) Plated Au thick monitor Wafer_ID Plated Au thick monitor (XRF)???? Period Monitor Wafer_ID Period Monitor F01M 6753 816 53 25 202 218 6045 155 170 1.95 1955 0 2263 2073 1758 2073 315 5636 1 0.45 F01M901 3383 4000.03 F02H 9700 65 52 24 203 261 5469 153 179 1.988 1864 1144 0 1143 970 1200 202 4414 1 0.46 F02H901 3361 2002.23 F03M 5211 17 55 25 203 192 5469 159 175 1.978 1901 2056 0 2171 2074 2247 135 4216 1 0.46 F03M902 3082 4000.59 F04H 10042 28 53 29 200 167 5890 157 191 1.959 1911 1012 0 1037 705 1051 339 6384 1 0.38 pbmon14 5314 2002.27 F05M 5184 43 52 21 206 170 5678 153 0 0 1860 1995 0 2148 1931 2123 205 5019 1 0.46 F05M901 4891 4000.49 F06H 9876 162 53 23 204 197 6019 152 177 1.908 2059 1023 0 1051 821 1181 295 5447 3486 0.36 0.36 F06H901 5110 2001.94 F07M 5431 60 51 15 202 185 4973 158 280 1.943 2020 1977 0 2342 2219 2392 148 3700 2847 0.23 0.46 F07M901 5002 4000.12 F08H 9620 52 80 116 200 197 5735 152 182 1.938 2012 1023 0 1124 893 1210 274 5282 3275 0.38 0.38 pbmon22 5188 2001.26 F09M 5427 85 53 24 203 251 4711 166? 205 1.929 1927 1950 1958 2195 2097 2279 140 3000 1886 0.37 0.46 pbmon28 5078 4000.1 F10H 9523 154 53 22 203 193 4917 152 186 1.963 2028 973 1144 1143 960 1200 212 4612 2780 0.4 0.38 F10H201 4881 2001.54 F11M 5470 207 53 21 204 220 5092 153 183 2.2 2017 1989 2263 2224 2048 2352 240 3754 2201 0.41 0.41 pbmon36 5135 4000.07 F12H 9342 69 0 23 0 186 5658 0 162 1.989 2006 1016 0 1029 813 1097 250 4767 3556 0.25 0.38 F12H902 4532 2001.56 F13M 5636 130 52 24 201 182 5161 157 185 1.938 2020 2098 2314 2324 2117 2304 197 3793 2165 0.43 0.48 pbmon39 5112 4000.12 F14H 9527 84 53 28 203 224 5985 151 159 1.841 1962 1029 1122 1043 856 1260 296 4593 2609 0.43 0.38 F14H901 4258 2001.6 F15M 5609 48 53 21 203 168 5077 153 154 1.715 1996 1901 2265 2226 2048 2225 178 3647 2469 0.32 0.35 pb0201 5552 4000 F16H 9690 43 53 35 202 135 5877 151 179 1.905 2025 1046 1001 1048 881 1205 246 5250 2587 0.51 0.45 F16H901 5364 2001.58 F17M 5562 122 52 21 204 204 5769 153 173 1.972 1986 2003 2085 2040 1976 2254 171 3570 1972 0.45 0.45 F17M902 5217 4000.1 F18H 10403 55 51 21 201 182 5816 151 197 1.91 0 5570 1 F19M 5239 12 50 20 200 182 4869 0 185 2.04 0 0 3750 1 F20H 10014 49 0 1 F21M 5318 97 51 22 201 166 4896 151 190 1.81 1950 0 3700 1 F22H 10113 55 52 21 209 182 5816 151 197 1.91 0 5500 1 F23M 5318 97 53 27 208 205 5146 167 182 1.81 2002 0 3638 1 F24H 10403 55 51 21 201 182 5816 151 197 1.91 0 5635 1 F25M 5318 97 53 27 208 205 5146 167 182 1.81 2002 0 3638 1 F26H 9992 99 52 23 202 195 5887 152 206 1.883 1984 1004 0 5635 1 F27M 5318 97 53 27 208 205 5146 167 182 1.81 2002 0 3638 1 F28H 9992 99 52 23 202 195 5887 152 206 1.883 1984 1004 0 5635 1 F29M 5318 97 53 27 208 205 5146 167 182 1.81 2002 0 3638 1